主要特点:
Ø 设备额定温度:2100℃,可长期使用在2000℃,温度控制:1区控制,升温速度0~20 ℃/min可调,压升率≤0.65 Pa/h,至工作真空≤30 min。
Ø 设备装载方式:炉体垂直升降式。
Ø 设备具备超温、断电保护等故障处理能力。
Ø 采用笼式石墨加热器。可在取料时升起加热器。
Ø 炉壁、上下法兰、铜电极、电缆均采用循环水冷却方式进行冷却。
Ø 人机界面自动控制/现场手动操作。运用专业工控软件,通过设计、组态为用户提供一套功能强大、界面友好的监控窗口。系统能够实时采集和记录设备的温度、真空度等工作数据,生成运行日志并保存,可在工控机上进行查询、数据分析,操作及数据历史回放。操作系统可实现温度的独立多通道多段PID调节控制和监视,可完成温控曲线的编辑、调试、存储等功能。工艺曲线既可通过组态软件存储在控制编程器里,也可存储在工控机硬盘里,可避免工艺数据丢失。配有开机累积计时功能。